标识
【产品名称】:四氟化碳
【中文名】:四氟化碳、四氟甲烷
【英文名】:Carbon tetrafluoride
【分子式】:CF4
【相对分子量】:88
【CAS号】:75-73-0
【危险性类别】:
主要组成与性状
【成分含量】:99.9%
【外观与性状】:无色、无臭、不燃的易压缩性气体
【主要用途】:用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体及制冷剂
性质与稳定性
【性质与稳定性】:常温常压下稳定,避免强氧化剂、易燃或可燃物。不燃气体,遇高热后容器内压增大,有开裂、爆炸危险。化学性质稳定,不燃。常温下只有液氨-金属钠试剂能发生作用。
储存方法
【储存方法】:储存注意事项:储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易(可)燃物、氧化剂分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
包装方法
【包装方法】:钢瓶气瓶
标识
【产品名称】:四氟化碳
【中文名】:四氟化碳、四氟甲烷
【英文名】:Carbon tetrafluoride
【分子式】:CF4
【相对分子量】:88
【CAS号】:75-73-0
【危险性类别】:
主要组成与性状
【成分含量】:99.9%
【外观与性状】:无色、无臭、不燃的易压缩性气体
【主要用途】:用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体及制冷剂
性质与稳定性
【性质与稳定性】:常温常压下稳定,避免强氧化剂、易燃或可燃物。不燃气体,遇高热后容器内压增大,有开裂、爆炸危险。化学性质稳定,不燃。常温下只有液氨-金属钠试剂能发生作用。
储存方法
【储存方法】:储存注意事项:储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易(可)燃物、氧化剂分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
包装方法
【包装方法】:钢瓶气瓶